感應(yīng)爐 SICG8-SL07

產(chǎn)品介紹

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)對(duì)比

感應(yīng)爐 SICG8-SL07

水平線圈式?晶爐采用水平線圈及整機(jī)全鋁設(shè)計(jì)，使磁場(chǎng)均衡對(duì)稱，與【一次傳質(zhì)】新工藝完美匹配，達(dá)到最優(yōu)化。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

整機(jī)全鋁

無(wú)籽晶托

減少應(yīng)力產(chǎn)生的缺陷
實(shí)現(xiàn)更靈活的溫度梯度調(diào)整

固定式水平線圈

提高磁場(chǎng)均衡對(duì)稱
對(duì)籽晶區(qū)的溫場(chǎng)做到更精細(xì)的調(diào)整，使溫度更均衡

【一次傳質(zhì)】熱場(chǎng)

多孔石墨筒，防止重結(jié)晶引起的缺陷

先進(jìn)技術(shù)

軸徑分離技術(shù)

注：?jiǎn)我粻t型不一定涉及全部技術(shù)，僅供參考，詳情歡迎致電恒普

【軸徑分離】技術(shù)應(yīng)用于電阻式長(zhǎng)晶爐徹底解決軸徑方向上的溫度耦合現(xiàn)象。調(diào)整軸向溫度梯度，提升晶體生長(zhǎng)速度，徑向溫度梯度也隨之發(fā)生改變，從而導(dǎo)致晶體生長(zhǎng)界面的凹凸變化、應(yīng)力增加，使得晶體缺陷增加。電阻式長(zhǎng)晶爐通過(guò)不同區(qū)域的電阻發(fā)熱，達(dá)到籽晶區(qū)域和源料區(qū)域的溫度分別控制，達(dá)到軸向溫度梯度與徑向溫度梯度分離，從而穩(wěn)定晶體生長(zhǎng)面型的同時(shí)能夠大幅度提高晶體生長(zhǎng)速度。

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